Pvd schichten Der Begriff physikalische Gasphasenabscheidung, selten auch physikalische Dampfphasenabscheidung, bezeichnet eine Gruppe von vakuumbasierten Beschichtungsverfahren bzw. Dünnschichttechnologien. 1 Physical Vapor Deposition, PVD) ermöglichen die Abscheidung hochwertiger tribologischer und funktioneller Schichten im Dickenbereich von wenigen Nanometern. 2 PVD-Schichten werden in der Mikroelektronik z. B. zum Erzeugen von Metall- oder (organischen) Halbleiterschichten eingesetzt. Im Bereich der. 3 Die PVD Beschichtung (engl. Physical Vapour Deposition) dient vor allem dem Schutz, der Optimierung und der Veredelung von Werkzeugen – quer durch die meisten. 4 Der Begriff physikalische Gasphasenabscheidung (englisch physical vapour deposition, kurz PVD), selten auch physikalische Dampfphasenabscheidung, bezeichnet eine Gruppe von vakuumbasierten Beschichtungsverfahren bzw. Dünnschichttechnologien. Anders als bei Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung wird mithilfe physikalischer Verfahren. 5 Vakuum-Bogenverdampfer im reaktiven Modus. Verfahren der Physikalischen Dampfphasenabscheidung (engl. Physical Vapor Deposition, PVD) ermöglichen die Abscheidung hochwertiger tribologischer und funktioneller Schichten im Dickenbereich von wenigen Nanometern bis zu einigen zehn Mikrometern. 6 Die Beschichtungseigenschaften (wie zum Beispiel Härte, Struktur, chemische und thermische Beständigkeit, Haftung) unserer PVD-Beschichtungen können präzise gesteuert werden. Zu den PVD-Verfahren gehören Arc-Verdampfung, Sputtern, Ionenplattierung und Enhanced Sputtern. 7 PVD-Beschichtungen entstehen im Hochvakuum durch die Überführung von Metall in einen dampfförmigen Zustand und gleichzeitige Zugabe eines Reaktionsgases. Durch unterschiedliche Temperaturen (ab °C) können wir Schichtdicken von µm abscheiden. 8 PVD-Beschichtungen kommen in immer mehr Anwendungsbereichen zum Einsatz, unter anderem auch im Automobilbau. Die Schichten haben wesentliche technische Vorteile bei gleichzeitig hohem optischem Anspruch und bieten eine umweltfreundliche Alternative zur klassischen Galvanisierung. 9 PVD-/ CVD Dünnschichttechnologie Seminar IOT IOT, Aachen, Germany – Uhr „Von der Bauteilfertigung zur Beschichtung“ Dr. Christoph Schiffers, Product Management Coating Equipment „PVD-Schichten für Zerspananwendungen“ Dr. Stephan Bolz, Executive Director Technology & Development – Uhr. pvd-beschichtung farben 10